表面処理・各種処理

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多様化するユーザー様のご要求に応えるべく、素材の性質を高めるための各種表面処理・各種改質処理をご提案させて頂いております。

グラファイト用 各種処理

グラファイト(黒鉛)用の各種処理です。

高純度処理・超高純度処理

黒鉛ルツボ
▲ 黒鉛ルツボ

半導体製造や冶金などで、不純物の含有を嫌う製品をつくる場合、それに使用する黒鉛に高純度化処理を行ない、炭素の純度を高めます。一般の黒鉛材の灰分(不純物)が300〜400ppmなのに対し、高純度化処理品では20ppm以下、超高純度化処理品では5ppm以下にすることができます。通常の黒鉛材を製品形状に加工してから高純度化処理を行う方法と、高純度化した黒鉛材料から製品形状に加工する方法があります。
※高純度化黒鉛を扱う場合は、(素手では触らず)手袋をはめて行います。

SiCコート(炭化珪素被膜処理)

SiCコート
▲ SiCコート

高純度黒鉛の表面にSiC(炭化ケイ素)の被膜をし、耐酸化や耐摩耗などの性能を高めます。また、グラファイトの発塵を抑える効果もあり、クリーンルーム内で使用するグラファイト製品には、この被膜処理を施します。
半導体製造工程で使用されるサセプター、宇宙往還機用の耐酸化耐熱部品、各種治具などで利用されています。
被膜の厚みは50μmから、50μm単位でご指定いただけます。

ガラス状カーボンコート

ガラス状カーボンコート
▲ ガラス状カーボンコート

黒鉛製品の表面層に、ガラス状カーボンの被膜を形成させます。グラファイト基材に炭素質の被膜ですので、グラファイトの性質をあまり落とさず、グラファイト材料の発塵を抑える効果や、ガラス状カーボンの液体・気体不透過などの機能を付与することができます。特殊な樹脂を含浸して、高温炉でその樹脂を炭素化していますから、製品の外形寸法には殆ど影響しません。酸化雰囲気で使用する場合は、グラファイトと同様の温度域から酸化消耗します。

プラズマ溶射

アルミナを溶射(200μm)
▲ アルミナ溶射(200μm)

コートする溶射材を加熱して溶融(または軟化)させ、スプレーのように溶射材粒子を吹き付けて、グラファイトの表面にターゲットの被膜を形成させます。

溶射被膜の組織はポーラス状で、溶射した表面は少し荒れた状態になります。

フッ素樹脂コート

超非粘着フッ素樹脂コート
▲ 超非粘着フッ素樹脂コート

グラファイト基材にフッ素樹脂をコートします。

すべてのフッ素樹脂がコートできる訳ではありませんが、すべり性、非粘着性(離型性)、200〜250℃くらいまでの耐熱性が期待できます。

ウエットメッキ

Ptメッキ
▲ Pt メッキ

グラファイト基材にメッキを施すことも可能です。

※ ターゲットになる金属を直接メッキできない場合があります。

光沢(準鏡面)仕上

光沢仕上
▲ 光沢仕上

人造黒鉛ブロック材は炭素粒子の焼結体ですから、厳密な鏡面にはなりませんが、光沢感を出すことは可能です。

左画像で2本白い線が見えるのは、反射した直管形の蛍光灯です。

表面粗さの例:Ra0.02 / Rz0.4 ※JIS B0601
(当社指定材質を用いた試験片[20×20×10mm]での測定結果)

耐熱塗装

耐熱塗装
▲ 耐熱塗装(黒色)

グラファイト基材に前処理を行い、200℃〜300℃の耐熱塗料を塗布して焼付乾燥します。グラファイトの発塵を抑える目的や、導電体であるグラファイトの一部を絶縁させる目的などで利用します。なお、塗装面は「鉛筆引っかき試験」で HB〜3H 程度の硬さになります。

※ 使用する塗料は絶縁物です。

ドライコーティング

ドライコーティング
▲ ドライコーティング

SiCコート以外にも、グラファイト基材を被膜できる、ドライコート材があります。

※ CVD(化学気相成長法)にてグラファイト基材に直接コートできる場合と、下地処理を施してからコートする場合があります。

無機系ペイント剤

ボロンナイトライド、アルミナ、炭素微粒子などの成分を被膜させる、無機系のペイント剤があります。

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アルミ用 各種処理

アルミニウム合金用の表面処理です。

フッ素樹脂含浸 硬質アルマイト処理

フッ素樹脂含浸 硬質アルマイト処理
▲フッ素樹脂含浸硬質アルマイト

アルミニウム合金に、硬質アルマイト(硬質陽極酸化被膜)の表面処理をした後、表面層(微小な凹凸のある表面)にフッ素樹脂を含浸させて、耐摩耗性、耐食性、低い摩擦係数などの特性を持たせた、アルミ基材の表面改質処理です。
(タフラム処理と同等の表面処理です)

詳細については、お気軽にお問い合わせください。

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